真空ポンプは、密閉された容器からガスを抽出して真空を作り出し、維持できる装置です。さまざまな真空環境を提供するために、科学研究や産業分野で広く使用されています。

真空ポンプの動作原理はさまざまで、主に次のタイプがあります。

1.容積式真空ポンプ:ポンプ室の容積は周期的に変化し、吸排気プロセスを完了します。このタイプのポンプは往復ベーンとロータリーベーンの 2 つのタイプに分けられます。往復真空ポンプは、ピストンの往復運動を利用してガスを吸入、圧縮、排気します。ロータリーベーン真空ポンプは、回転するローターを使用してガスを吸入し、圧縮します。

2.ドライ真空ポンプ:シール材に油などの液体を使用していないため、半導体エッチングプロセスなどオイルフリーのクリーンな真空を必要とする環境に適しています。

3.液封式真空ポンプ:ローターが回転すると、液体 (水や油など) がポンプ ケーシング内に投入されて同心円状の液体のリングが形成され、ローター ブレードによって周期的に変化する小さな体積がいくつか形成され、吸引と圧縮が行われます。

4.ルーツ真空ポンプ:逆方向に同期して回転する2つのローターを備えています。ロータ間およびロータとポンプケーシング内壁との間には一定の隙間が保たれている。回転式可変容量型真空ポンプです。

5.運動量伝達ポンプ: 高速回転ブレードまたは高速ジェットを利用して運動量をガス分子に伝達し、ポンプの入口から出口までガスを連続的に伝達します。分子真空ポンプは、このタイプのポンプの一例です。

6.ジェット真空ポンプ: 高速ジェットによって生成される運動量を利用して、ガスを出口まで輸送します。液体ジェット、ガスジェット、またはスチームジェット真空ポンプを使用できます。

真空ポンプは必要な真空環境を提供し、多くの工業プロセスや科学実験をスムーズに進めることができます。これらは現代の産業や科学研究に不可欠な機器の 1 つです。